Laboratoř tenkých vrstev

Možnosti využití

Pracoviště poskytuje možnost vytváření tzv. tenkých vrstev na různé podložky. Tloušťky tenkých vrstev se typicky pohybují v desítkách či stovkách nanometrů. Dostupnými technologiemi napařování a naprašování lze nanášet vrstvy kovové i nekovové. Laboratoř disponuje také přístrojem pro měření tloušťky a drsnosti vytvořených vrstev. Vybavení laboratoře se využívá ve výuce, pro různé studentské práce (diplomové a bakalářské práce, individuální projekty) a pro další vědecko-výzkumnou činnost.

Přístrojové vybavení

Napařovačka EDWARDS

edwards.jpg

Zařízení EDWARDS je určeno pro vytváření vrstev pomocí odpařování nanášeného materiálu a následné kondenzace materiálu na podložku. Proces nanášení vrstvy musí probíhat ve vakuu.

Základní údaje:

  • vytváření vakua dvoustupňovým čerpáním – rotační a difúzní vývěva (olejové),
  • dosažitelné vakuum 2 mPa,
  • odporový ohřev materiálu v tzv. lodičce,
  • otočný držák podložek (karusel),
  • elektrodový systém pro iontové čištění podložek,
  • vybavení pro napařování metodou „flash“.




Naprašovačka BALZERS PFEIFFER

balzers.jpg

Zařízení BALZERS je určeno pro vytváření vrstev pomocí odprašování materiálu ze zdrojového terče. Nanášený materiál se odprašuje bombardováním terče s materiálem budoucí vrstvy urychlenými částicemi pracovního plynu.

Základní údaje:

  • vytváření vakua dvoustupňovým čerpáním – membránová a turbomolekulární vývěva,
  • dosažitelné vakuum až 1e-9 Pa,
  • generátor pro vysokofrekvenční naprašování (i elektricky nevodivých materiálů),
  • vodou chlazený planární magnetron,
  • dva ventily pro přívod pracovního plynu do recipientu (inertní plyn a reaktivní plyn).

2D měřič profilů Form Talysurf Intra

talysurf.jpg

"Elektronický talysurf" od firmy Taylor Hobson je určen pro měření tloušťky a vrstev a drsnosti povrchů. Po povrchu materiálu se pohybuje hrot, u kterého je snímána změna vertikálního pohybu a je převáděna na elektrický signál. K vyhodnocení slouží počítač a obslužný program.

Základní údaje:

  • diamantový hrot s poloměrem 2 μm,
  • indukční snímač se dvěma rozsahy:
    • 1 mm, rozlišení 16 nm,
    • 0,2 mm, rozlišení 3 nm,
  • max. délka snímané dráhy: 50 mm,
  • software pro zpracování naskenovaných průběhů,
  • možnost úpravy nasnímaných průběhů – vyrovnání, filtrace šumu.

Předměty vyučované v této laboratoři

Do laboratoře, zabývající se tenkými vrstvami, se můžete podívat při práci na některé ze studentských prací, jako jsou bakalářské a diplomové práce či studentské projekty. Do učebny není přímo rozvrhován žádný předmět.

Umístění laboratoře

Místnost T2:G1-127, ve které naleznete laboratoř tenkých vrstev, se nachází v prvním patře halových laboratoří v bloku G1 na konci chodby. Vstup z bloku B3 je vyznačen červeně.

T2-G1-127.PNG

Za informace zodpovídá: Ivana Beshajová-Pelikánová

Verze 47.1 naposledy upravil K13113PowerUser - 30/07/2015 - 09:36

Komentáře 0

Žádné komentáře pro tento dokument

Přílohy 4

Image
balzers.jpg 1.1
PostedBy: K13113PowerUser na 23/09/2013 (21kb )
Image
edwards.jpg 1.1
PostedBy: K13113PowerUser na 23/09/2013 (23kb )
Image
talysurf.jpg 1.2
PostedBy: K13113PowerUser na 23/09/2013 (25kb )
Image
T2-G1-127.PNG 1.1
PostedBy: K13113PowerUser na 07/08/2014 (19kb )

Vytvořil: Martin Molhanec - 2011/01/05 16:02
Copyright Department of Electrotechnology of CTU FEE in Prague
XWiki Enterprise 1.5.11446 - Documentation